remove organic contaminant from surface of wafer. Second step is to remove any oxide layer that may have built up. The last step removes any ionic or heavy metal contaminants.
The RCA clean procedure should be performed immediately prior to any crucial step, especially those involving high temperatures. For safety reasons, all activities in the RCA clean procedure should be performed in a Clean
Biosorption (생물흡착, 생물수착)
1.정의
희석된 수용액으로부터 중금속을 모으고 묶어두기 위해 죽은 생물, 비활성화된 미생물 바이오매스를 이용하는 방법.
화학물로써 작용하거나 이온교환체로써 작용하여 그들의 특성을 나타낸다.
2. 장점 & 단점
장점
죽은 생물 바이오매스는 세포의 독
4. 실험장비
① E-Beam Evaporator
PVD(Physical vapor deposition)의 한 방법으로 전자빔을 이용하여 박막을 형성하는 것이 E-Beam Evaporator이다. 그림5.는 E-beam장치의 구조도이다. 장치안의 필라멘트에 매우 높은 전압을 가하면 필라멘트에서 에너지를 가진 열전자들이 방출된다. 이 부분을 electron gun이라하고 여
② Thermal Evaporator
각종 금속(Au, Al, Ti, Cr, In, Ni)과 유전체(SiO2)의 박 막을 기판 위에 증착할 수 있는 장비이다. 진공도는 Torr까지 얻을 수 있다. 박막 증착시에는 박막 두께 측정 센서를 통해 박막의 두께를 확인하며 공정을 진행할 수 있다. 박막은 보통 0.5 Aring/sec ~ 1.0 Aring/sec의 증착 속도로 증착을 하
③ PVD(Physical Vapor Deposition)
PVD는 증착시키려는 물질이 기판에 증착될 때 기체 상태가 고체 상태로 바뀌는 물리적인 변화를 이용한 방법을 말한다. 다른 증착법과는 다르게 저온에서 간단히 박막을 증착할 수 있는데, 다음과 같이 여러 증착법이 있다.
스퍼터링(Sputtering), 전자빔 증착법 (E-beam evapora